安徽快3助赢软件_安徽快3开奖结果今天-官网|首页
  主页 | 安徽快3助赢软件 | 关于我们 | 产品中心 | 新闻中心 | 精品推荐 | 公司相册
 
 ????:主页 > 公司相册 > ??  
静电放电保护器件的制作方法
??:未知 ??:admin ??:2019-08-27 ??:
 

  [0002]半导体集成电路产业经历了快速的增长。IC材质和设计中的技术进步造就了一代又一代的集成电路,其中,每一代比上一代具有更小以及更复杂的电路。这些电路可能对静电放电电流敏感。因此,静电放电保护器件被用来防止和减少由ESD电流给集成电路造成的损坏。传统上,一些静电放电保护器件具有过大的寄生电容(parasitic capacitance),这些过大的寄生电容会显著降低被保护电路的射频(RF)性能。

  [0003]因此,虽然现有的静电放电保护器件通常能够适合它们的预期目的,即具有静电放电保护功能,但不能在各个方面完全令人满意,如会降低射频性能。

  [0004]有鉴于此,本发明的目的之一在于提供一种静电放电保护器件,以解决上述问题。

  [0005]本发明提供一种静电放电保护器件,其包括半导体基板和形成于该半导体基板中的一对第一阱区,其中,该对第一阱区具有第一导电型且被该半导体基板的至少一个部分分开。此外,该静电放电保护器件还包括形成于该半导体基板的至少一个部分的第一部分中的第一掺杂区,且具有与该第一导电型相对的第二导电型。此外,该静电放电保护器件还包括一对第二掺杂区和一对绝缘层,该对第二掺杂区分别形成于该对第一阱区之一中,具有该第一导电型;该对绝缘层分别形成于该半导体基板的第二部分之上,以分别覆盖该第一掺杂区的一部分和该对第二掺杂区之一的一部分。

  [0006]本发明提供的上述静电放电保护器件在其尺寸减小时,仍能够提供静电放电保护而不会显著降低与其连接的集成电路的射频性能。

  [0007]本领域技术人员在阅读附图所示优选实施例的下述详细描述之后,可以毫无疑义地理解本发明的这些目的及其它目的。

  [0008]通过阅读后续的详细描述和实施例可以更全面地理解本发明,该实施例参照附图给出,其中:

  [0010]图2是根据本发明另一实施例的一种静电放电保护器件的示意剖视图;

  [0012]图4是根据本发明再一实施例的一种静电放电保护器件的示意剖视图;

  [0014]图6是根据本发明又一实施例的一种静电放电保护器件的示意剖视图;

  [0016]图8是根据本发明又一实施例的一种静电放电保护器件的示意剖视图;

  [0018]图10和图11是根据本发明又一实施例的一种静电放电保护器件的不同部分的示意剖视图;

  [0020]以下描述为本发明实施的较佳实施例。以下实施例仅用来例举阐释本发明的技术特征,并非用来限制本发明的范畴。在通篇说明书及权利要求书当中使用了某些词汇来指称特定的元件。所属领域技术人员应可理解,制造商可能会用不同的名词来称呼同样的元件。本说明书及权利要求书并不以名称的差异来作为区别元件的方式,而是以元件在功能上的差异来作为区别的基准。本发明中使用的术语“元件”、“系统”和“装置”可以是与计算机相关的实体,其中,该计算机可以是硬件、软件、或硬件和软件的结合。在以下描述和权利要求书当中所提及的术语“包含”和“包括”为开放式用语,故应解释成“包含,但不限定于…”的意思。此外,术语“耦接”意指间接或直接的电气连接。因此,若文中描述一个装置耦接于另一装置,则代表该装置可直接电气连接于该另一装置,或者透过其它装置或连接手段间接地电气连接至该另一装置。

  [0021]图1是表示一种示例性的静电放电保护器件100的示意剖视图,该静电放电(ESD)保护器件100可被应用至具有射频(Rad1 Frequency, RF)功能的集成电路中。图1所示的静电放电保护器件100用于描述发明人所发现的问题的一种实施例,并不用于限制本申请的范围。

  [0022]如图1所示,静电放电保护器件100包括半导体基板(semiconductorsubstrate) 102和形成于该半导体基板102的一部分中的讲区(well reg1n) 104。此外,一对隔离组件(a pair of isolat1n element,也可以称作隔离组件对)106的每一个均形成于半导体基板102的一部分和阱区104的一部分中,以限定(define)静电放电保护器件100的有效区域(active area)A0此外,掺杂区(doped reg1n) 108形成于讲区104的中间部分中,以及,多个掺杂区110(如图1所示的一对掺杂区110)分别形成于阱区104的其中一个末端部分中。此外,一对绝缘层(a pair of insulating layer,也可以称作绝缘层对)112分别形成于阱区104的一部分之上,以使得该对绝缘层112的每一个设于在掺杂区108和多个掺杂区110的其中一个之间的这部分阱区之上。该对绝缘层112的每一个覆盖及物理接触掺杂区108的一部分、其中一个掺杂区110的一部分以及在掺杂区108和该掺杂区110之间的这部分阱区,其中,该掺杂区108和该掺杂区110分别与该绝缘层112相邻。在一种示例中,绝缘层112分别形成于半导体基板202的第二部分之上,以覆盖该掺杂区208的一部分和该对掺杂区110之一的一部分。该第二部分与上述第一部分可以部分重叠,或者,该第二部分为上述第一部分的其中一部分,具体地,本发明实施例不作限制。

  [0023]在一实施例中,例如,半导体基板102可以是具有导电型(如P型)的娃基板(silicon substrate)。此外,讲区104和掺杂区110可以具有第一导电型(如N型或P型),以及,掺杂区108可以具有与该第一导电型相对的第二导电型(如P型或N型)。掺杂区108和110中的掺杂浓度(dopant concentrat1n)可以大于讲区104中的掺杂浓度,以及,阱区104中的掺杂浓度大于半导体基板102的掺杂浓度。此时,图1所示的静电放电保护器件100因此提供具有P-N结或N-P结的二极管结构,该P-N结或N-P结形成于掺杂区108和阱区104之间。掺杂区108可以是与接垫(pad)或电路(两者均未示出)电气连接的节点,以及,多个掺杂区110的每一个可以是与电路或接垫(两者均未示出)电气连接的另一节点。因此,静电放电保护器件100可以防止或减少静电放电电流给其连接的电路造成的损坏。

  [0024]然而,考虑到静电放电保护器件100的尺寸不断减小的趋势,在静电放电保护器件100的掺杂区108和阱区104之间形成的PN结或NP结还会提供增大的(increased)寄生电容,该寄生电容大到足以显著降低与其连接的集成电路的射频(RF)性能(未示出)的程度。

  [0025]图2和图3是表不一种不例性的静电放电保护器件200的不意图,可以应用该静电放电保护器件200来保护具有射频功能的集成电路。图2是沿图3中线的示意剖视图,以及,图3是图2所示的静电放电保护器件200的示意俯视图。虽然静电放电保护器件200的尺寸进一步减小,但图2和图3所示的静电放电保护器件200仍能够具有减小的(reduced)或较小的寄生电容,且还能够提供静电放电保护,而不会降低与其连接的集成电路的射频性能。


???????? ? ?? ???? ????
????
电子元器件的静电解决办法 2019/08/27 19:25:43
静电放电保护器件的制作方法 2019/08/27 19:25:37
常见防静电器件及常规使用方法 2019/08/27 19:25:26
绳子 绳子结 霓虹灯 彩色带子 素 2019/08/25 03:21:27
炫光金砂-新品充皮纸特种纸 天祥 2019/08/25 03:21:20
欧式家用编织纹纸巾盒 多功能纸 2019/08/25 03:21:05
直销 席纹 编织纹墙纸壁布 硬包 2019/08/25 03:20:52
压缩供氧装置 压缩供氧装置 2019/08/22 22:38:08
鱼类供氧装置的制作方法 2019/08/22 22:37:59
2个“教训”告诉你:不要忽略了 2019/08/22 22:37:50
 ????
·织纹纸-和纹板-建材网
·常见防静电器件及常规使用方法
·常温彩色美纹胶纸批发价格是多少
·一种用于局部氧疗的供氧装置的制
·中心供氧
·2016-2022年全球织纹纸行业市场
·河北区美纹纸胶带厂家_【东方华
·黄江弥散供氧装置模具庄河厂[金
 
 ????
·2015-20年中国织纹纸行业
·7种自问纸张、编织物纸质
·电箱绝缘盖板-电缆盖板规
·直销 席纹 编织纹墙纸壁布
·炫光金砂-新品充皮纸特种
·国网泰安供电公司:顺利开
·人体放电模型
·雅织纹纹路纸
 
 

Copyright © 2002-2019 DEDECMS. 织梦科技 版权所有 Power by DedeCms